AeroTrak?便攜式粒子計數(shù)器9110型

9110型高靈敏度粒子計數(shù)器，它能精確測量0.1μm的粒子，粒徑范圍為0.1至10 μm，可同時檢測多達(dá)八個通道（0.10, 0.15, 0.20, 0.25, 0.30, 0.50, 1.0, 5.0 μm）的粒子數(shù)據(jù)，1.0 CFM (28.3 L/min）流速，在半導(dǎo)體超凈環(huán)境控制中，能夠?qū)崟r、準(zhǔn)確地檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)，為產(chǎn)品良率保駕護(hù)航。

特點(diǎn)與優(yōu)勢

1. 精確檢測0.1μm的粒子

2. 粒徑范圍0.1至10 μm

3. 可同時檢測多達(dá)八個通道的粒子數(shù)據(jù)

4. 1.0 CFM (28.3 L/min）流速

5. 符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)中所有要求

6. I級和II級無塵室檢測最佳選擇

7. 完全符合ISO 21501-4要求

8. 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性報告

9. 通過TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認(rèn)證報告

10. 采用增強(qiáng)HeNe激光

11. 高可重復(fù)和高可靠檢測/數(shù)據(jù)

12. 數(shù)據(jù)存儲：250區(qū)，999個位置和10,000個樣本

13. USB、以太網(wǎng)和脈沖輸出

14. 工業(yè)級高分貝報警

15. 允許存儲和回放特定測試/配置

16. 顯示多達(dá)三個環(huán)境參數(shù)

17. 不銹鋼外殼

18. 無縫整合M32-01多點(diǎn)采樣器

19. 無塵室分類達(dá)到ISO I級

9110粒子計數(shù)器多功能的配置可以根據(jù)不同需要，既可以作為單機(jī)粒子計數(shù)器使用，也可以集成于在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)。適用于粒子污染監(jiān)測、已安裝過濾器檢漏測試、無塵室認(rèn)證等領(lǐng)域。

實(shí)現(xiàn)無污染的半導(dǎo)體制造對于減少缺陷和良率損失以及提高設(shè)備的可靠性是至關(guān)重要的！

隨著半導(dǎo)體行業(yè)朝著越來越小的工藝尺寸和復(fù)雜性發(fā)展，對潔凈室工藝制程關(guān)鍵區(qū)域的環(huán)境粒子精確測量至關(guān)重要，把先進(jìn)的塵埃粒子檢測技術(shù)集成到半導(dǎo)體制造工藝中，是半導(dǎo)體制造質(zhì)量和卓越的基石，支持關(guān)鍵半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步。