RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。

技術(shù)參數(shù)

光源鐳射二極管(波長:830nm,額定輸出:200mW)

鐳射材料 KS-42A 人造石英PFA

KS-42AF 藍(lán)寶石PFA(可測(cè)氫氟酸)

流量 10ml/分鐘

粒徑范圍(5通道);  ≥0.1μm;  ≥0.15μm ;≥0.2μm;  ≥0.3μm;  ≥0.5μm    (可選配≥1.0μm)

可選通道 1-10個(gè)通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.1,0.13~0.5μm

粒子數(shù)量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應(yīng))

尺寸.重量 125（H）X 240(W) X 151(D) mm,大約:4kg