RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。

特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

光源 激光二極管泵/固態(tài)晶振鐳射(波長(zhǎng):532nm,額定輸出:500mW)

鐳射材料 藍(lán)寶石,PFA

流量 10mL/min

粒徑范圍 (4通道,標(biāo)配) ≥0.04μm;≥0.08μm;≥0.1μm;≥0.15μm

可選通道 1-10個(gè)通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.04~0.15μm

粒子數(shù)量 30000顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應(yīng))

尺寸.重量 147（H）X  272(W) X 442(D)mm, 約重:12kg