RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優(yōu)勢

可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

技術(shù)參數(shù)

光源 鐳射二極管(波長:790nm,額定輸出:4.5mW)

接觸樣品的部件材料 毛細管：人造石英；取樣管：硼硅玻璃、PTFE；

取樣泵：Kel-F(PCTFE) 、PTFE; 管路接頭：PFA、PTFE、PCTFE、Perflo；

流量 25ml/min（10 ml/分鐘為工廠定制）

測量范圍 可任意選自1-20個通道 ,  1.3~100μm （0.1μm的間隔）

最多粒子數(shù)量 10000顆/ml（誤差值低于10%）

電源 100V-240V AC,50/60Hz 80VA

尺寸.重量 366(H) X 360(W) X 236 (D) mm,大約:10kg