化學過濾器作為潔凈室通風空調(diào)系統(tǒng)的一個組成部分，用于安裝在潔凈室內(nèi)的各種位置，不同的位置提供不同程度的靈活性，并針對特定的污染物或污染源進行定位。

化學過濾器可以很容易地整合到現(xiàn)有的空氣處理設備中，用于氣態(tài)分子污染物（AMC）控制，可以是多個位置的過濾系統(tǒng)的組合，也可以是單個位置的多個過濾階段的組合，基本上可以解決任何AMC問題，進而保護敏感的制程。

潔凈室中化學過濾器的使用位置

（1）置于新風空調(diào)箱，移除由室外引進的污染；

（2）置于循環(huán)回風空調(diào)箱，移除制程環(huán)境所產(chǎn)生的污染以節(jié)省新風量及新風空調(diào)負荷；

（3）與風機過濾單元結(jié)合控制潔凈室天花板氣流出口的潔凈；

（4）微環(huán)境，接近制程設備機臺端供給潔凈氣流。

化學過濾器種類多，主要分為： 平板型化學過濾器 、W型化學過濾器、箱式化學過濾器、圓筒化學過濾模塊、插片式化學過濾器、V型化學過濾模塊等，能滿足各類氣態(tài)污染物過濾需求，助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)工藝、提升產(chǎn)品良率，扎實推動企業(yè)節(jié)能降耗增效。

化學過濾器特點

?采用新一代化學過濾技術，高效過濾各類污染氣體，過濾效率≥95%

?流暢的結(jié)構(gòu)設計，低阻力，無遞增壓損

?氣體與濾材大面積接觸，凈化更充分

?采用高效濾材，擁有更長的使用壽命和更高性能

? 無灰塵釋放，具有一定的粉塵過濾效果

具體選擇哪種類型的化學過濾器，需要根據(jù)污染物種類、濃度和處理風量等條件，確定合適的過濾器形式和濾料種類，并在使用過程中監(jiān)測過濾器前后污染物的濃度變化，確定更換周期和使用壽命，以確保最佳的空氣質(zhì)量和污染控制效果。