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污染物控制在電子和半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

2021-03-11
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司
半導(dǎo)體、硬盤和平板顯示器的制造商對(duì)環(huán)境的要求極其嚴(yán)格。即使質(zhì)量方面一個(gè)小小的缺陷,就會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重經(jīng)濟(jì)損失。對(duì)潔凈車間和工藝制程關(guān)鍵區(qū)域的環(huán)境粒子精確測(cè)量計(jì)數(shù)來(lái)保證高良率下的高品質(zhì)是非常重要的一點(diǎn)?;谶@點(diǎn)考慮,您需要和信任的品牌來(lái)合作。TSI公司是公認(rèn)的世界級(jí)空氣塵埃粒子測(cè)量領(lǐng)域的權(quán)威。
為了使產(chǎn)品質(zhì)量持續(xù)提高,我們需要穩(wěn)定的測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量數(shù)據(jù),來(lái)更準(zhǔn)確的使用諸如統(tǒng)計(jì)工程控制(SPC)這樣的改進(jìn)工具。工藝制程的相關(guān)信息不但有助于最大程度減少停機(jī)時(shí)間,并且在創(chuàng)造性的提高生產(chǎn)效率這方面也很重要。TSI公司的FMS 5 (在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng))應(yīng)用軟件自帶的SPC選項(xiàng),并具有當(dāng)在工藝進(jìn) 程出現(xiàn)問(wèn)題時(shí),實(shí)時(shí)捕捉報(bào)警信息并通知軟件系統(tǒng)的特點(diǎn)。TSI 公司世界級(jí)空氣塵埃粒子測(cè)量?jī)x器和FMS 5在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的 完美組合,使您擁有強(qiáng)有力的工具來(lái)確保您的工藝制程在可控制的條件下運(yùn)行。
 
AeroTrak®系列粒子計(jì)數(shù)器丨研究與工業(yè)應(yīng)用的完美結(jié)合
 
AeroTrak®系列粒子計(jì)數(shù)器,包括手持式,便攜式和遠(yuǎn)程式,旨在滿足電子和半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)潔凈室潔凈度的應(yīng)用要求。AeroTrak粒子計(jì)數(shù)器符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)提出的嚴(yán)格要求。該系列粒子計(jì)數(shù)器通過(guò)符合NIST可追溯的PSL微球、公認(rèn)的粒子檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)、TSI公司世界一流的篩分器和凝聚核粒子計(jì)數(shù)器來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)°TSI公司以高質(zhì)量、 高精度的長(zhǎng)期聲譽(yù)來(lái)保證,AeroTrak系列粒子計(jì)數(shù)器為您提供最 佳的測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量數(shù)據(jù)來(lái)幫助您保證您的工藝過(guò)程在可控制的條 件下運(yùn)行。
 
 
認(rèn)證和監(jiān)測(cè)丨更簡(jiǎn)單
 
你是否定期認(rèn)證您的潔凈室或者持續(xù)監(jiān)測(cè)潔凈室,或者兩項(xiàng)都要完成。TSI公司產(chǎn)品幫助簡(jiǎn)化您的工作,符合您的要求。AeroTrak便攜式粒子計(jì)數(shù)器提供了一個(gè)簡(jiǎn)單的圖標(biāo)驅(qū)動(dòng)的觸摸屏界面,使它很容易上手。具有測(cè)量精確數(shù)據(jù),輸出多種格式,完全符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的報(bào)告的特點(diǎn)。FMS 5在線粒子監(jiān)測(cè)軟件是一個(gè)功能強(qiáng)大的,連續(xù)監(jiān) 測(cè)的系統(tǒng)。AeroTrak遠(yuǎn)程式粒子計(jì)數(shù)器和其他環(huán)境監(jiān)測(cè)傳感器,無(wú)縫隙地集成到FMS 5在線粒子監(jiān)測(cè)軟件中來(lái)收集您工藝制程信息來(lái)提高您的工藝制程能力。FMS 5在線粒子監(jiān)測(cè)軟件可以通過(guò)簡(jiǎn)單的配置,使您能夠輕松地生成SPC圖表,便于您對(duì)工藝制程能力的分析,提高。
 
 
TSI 便攜式粒子計(jì)數(shù)器
 
AeroTrak 系列便攜式粒子計(jì)數(shù)器
 
TSI公司提供完整系列的便攜式粒子計(jì)數(shù)器,包括1立方英尺/分鐘(28.3升/分 鐘),50升/分鐘,100/分鐘等各種流量。其中9110型號(hào),提供0.1 pm粒徑, 1立方英尺/分鐘(28.3升/分鐘)高靈敏度的測(cè)試,滿足您對(duì)ISO 1級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的 測(cè)量分類。所有AeroTrak粒子計(jì)數(shù)器均可與TSI的FMS 5在線粒子監(jiān)測(cè)軟件無(wú) 縫對(duì)接,確保您對(duì)產(chǎn)品和工藝制程的精確控制。

AeroTrak 系列便攜式粒子計(jì)數(shù)器
 
AeroTrak 手持式粒子計(jì)數(shù)器
 
TSI公司的手持式粒子計(jì)數(shù)器是尋找泄漏源,分級(jí)潔凈區(qū)域,過(guò) 濾器檢漏等應(yīng)用方面的非常優(yōu)秀的儀器。當(dāng)作為調(diào)查工具,問(wèn)題 出現(xiàn)早期就能及時(shí)發(fā)現(xiàn),幫助您節(jié)省時(shí)間和金錢。型號(hào)9303是 —個(gè)具有低成本高性能,3個(gè)粒徑通道,0.1立方英尺/分鐘(2.83 升/分鐘)粒子計(jì)數(shù)器。型號(hào)9306是一款具有6個(gè)粒徑通道,0.1立 方英尺/分鐘(2.83升/分鐘)的世界一流的粒子計(jì)數(shù)器。
 
AeroTrak 手持式粒子計(jì)數(shù)器
 
 
潔凈室驗(yàn)證產(chǎn)品風(fēng)速儀
 
TSI公司的風(fēng)速儀,是世界級(jí)的具有測(cè)量精度高,低速等特點(diǎn)的儀 器,一般被用作驗(yàn)證和檢測(cè)潔凈室和其他潔凈設(shè)備。產(chǎn)品包括:
 
+ VelociCalc® 風(fēng)速計(jì)
 
+ AccuBalance® 風(fēng)量罩
 
+ Air Velocity Transducers 風(fēng)速傳感器
 
+ DP-Calc™微壓差計(jì)
 
 
 
AeroTrak® + 遠(yuǎn)程塵埃粒子計(jì)數(shù)器
 
TSI AeroTrak®+ 遠(yuǎn)程塵埃粒子計(jì)數(shù)器(APCS)為潔凈室專業(yè)人員提供一流的可靠性和無(wú)障礙操作。儀器覆蓋了寬廣的粒子粒徑,能夠滿足您制造環(huán)境的需要。儀器具有快速設(shè)置和操作方便的特性,是安裝期間節(jié)省時(shí)間的首選,同時(shí)能夠確保在潔凈設(shè)施的使用壽命內(nèi)進(jìn)行可靠的測(cè)量。
 
AeroTrak+ 遠(yuǎn)程APC 有兩種配置。7000 系列是一種傳統(tǒng)的遠(yuǎn)程APC,與外部真空系統(tǒng)配合使用。對(duì)于不具有外部真空系統(tǒng)或難以靈活改造潔凈設(shè)施的應(yīng)用,新型6000 系列自帶泵遠(yuǎn)程APC 是理想的解決方案。兩者都提供了提高產(chǎn)品良率的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)。

AeroTrak? + 遠(yuǎn)程塵埃粒子計(jì)數(shù)器
 
      深圳市億天凈化技術(shù)有限公司是美國(guó) TSI 在中國(guó)授權(quán)的一級(jí)金牌代理商及售后、維修,校準(zhǔn)中心。多次獲得TSI儀器銷售突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)、銷售冠軍等。
 
深圳市億天凈化技術(shù)有限公司是美國(guó) TSI 在中國(guó)授權(quán)的一級(jí)金牌代理商及售后、維修,校準(zhǔn)中心。多次獲得TSI儀器銷售突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)、銷售冠軍等。
 
       我們不僅是一個(gè)優(yōu)秀的儀器代理商和授權(quán)技術(shù)維修中心,同時(shí)更是一個(gè)出色的系統(tǒng)集成商,提供有線/無(wú)線 塵埃粒子自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、粒子可視化檢測(cè)系統(tǒng)、有線/無(wú)線粉塵濃度實(shí)時(shí)自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、VOC 實(shí)時(shí)自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、AMC實(shí)時(shí)自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等 。
 
 
在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
 
ESKY環(huán)境粒子無(wú)線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)+無(wú)線推車檢測(cè)系統(tǒng)+有線循序監(jiān)測(cè)集成系統(tǒng),綜合了無(wú)線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)安裝方便、降低施工難度、節(jié)約施工時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)和無(wú)線推車系統(tǒng)靈活性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),以及有線循序監(jiān)測(cè)較為經(jīng)濟(jì)的優(yōu)點(diǎn)。打造全方位一體式的監(jiān)測(cè)功能,實(shí)用性強(qiáng)、綜合性強(qiáng)、便于高效管理。適用于電子、半導(dǎo)體、電池等行業(yè)大型潔凈室。

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