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電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案

2023-08-17
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司

作為數(shù)字科技浪潮的核心支撐產(chǎn)業(yè)之一,全球半導(dǎo)體行業(yè)正經(jīng)歷飛速發(fā)展,芯片線寬發(fā)展至納米(nm)級(jí)別,但半導(dǎo)體制程復(fù)雜,對(duì)氣態(tài)分子污染物(AMC)敏感的區(qū)域比較多,而AMC會(huì)危害生產(chǎn)工藝關(guān)鍵環(huán)節(jié),造成半導(dǎo)體晶體表面的氧化和侵蝕,引起成品合格率降低,因此,AMC的控制技術(shù)已經(jīng)成為半導(dǎo)體良率提升的必要手段。

 

億天凈化深耕布局半導(dǎo)體賽道多年,可向半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案,助力打造精準(zhǔn)化、低能耗的半導(dǎo)體潔凈室,以滿足行業(yè)對(duì)技術(shù)革新的需求,不斷提高產(chǎn)品良率。

電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境智能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境智能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)


AMC的控制中,首要步驟是通過檢測(cè)分析識(shí)別污染物來源,制定針對(duì)性管控措施。同時(shí)在新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)以及機(jī)臺(tái)區(qū)域考慮安裝合適的過濾器來保護(hù)生產(chǎn)環(huán)境。對(duì)于潔凈室內(nèi)部分區(qū)域AMC含量的異常波動(dòng),需要運(yùn)用在線監(jiān)測(cè)的數(shù)據(jù)去系統(tǒng)分析任何一次超出控制的異常情況,找到引起波動(dòng)的真實(shí)原因,進(jìn)而找到有效的處理方法。

ESKY--過濾器產(chǎn)品系列

ESKY--過濾器產(chǎn)品系列


億天凈化在電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案中提供包括空氣質(zhì)量檢測(cè)、控制和監(jiān)測(cè)等服務(wù),內(nèi)含化學(xué)過濾器、粉塵過濾器、AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境智能在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、微粒子可視化系統(tǒng)、粒子計(jì)數(shù)器、AMC檢測(cè)柜、智能FFU等,高效節(jié)能降耗,為電子半導(dǎo)體生產(chǎn)提供全方位的潔凈、節(jié)能的空氣解決方案。


智能FFU節(jié)能控制系統(tǒng)

智能FFU節(jié)能控制系統(tǒng)

電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案

可以針對(duì)客戶對(duì)空氣潔凈度的不同需求,通過采樣、現(xiàn)場(chǎng)勘測(cè)、技術(shù)診斷,評(píng)估潔凈室內(nèi)、外部空氣質(zhì)量,確認(rèn)氣態(tài)分子污染物(AMC)主要成分及濃度,幫助客戶量身定制最匹配實(shí)際環(huán)境需求的解決方案,為用戶提供管理潔凈室的新模式,實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗和智慧潔凈。

電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案

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